MOCVD原位监测系列

MOCVD原位监测设备

昂坤视觉最新一代MOCVD原位监测设备RTC6.5 ，适用于LED，功率器件，光电子器件，SiC外延等各种MOCVD原位监测应用

温度反射率测量仪

温度反射率测量仪VRT940B，采用光纤连接测量温度反射率的RT探头；940nm单波长，测温范围可定制；Trigger信号输入功能，可对多片系统分片测量，体积小，安装使用方便；用于SiC外延设备温度监测，测温信号可用于温度控制。

宽光谱温度校准光源

宽光谱温度校准光源Cal-1，采用高稳定卤钨灯光源，辐射波长350-2600nm，光强稳定度高，长寿命灯泡，并带有灯泡使用小时计时器，配电源适配器和锂电池，有无氮气室环境均可使用。

高精度温度校准单元

高精度温度校准单元Cal-2，集成式24位高精度测温探头，直径4mm探测口径，适用于各种观察窗，重复性好，稳定性高，体积小，容易安装和使用。

晶圆表面温度测量仪

晶圆表面温度测量仪T405，近紫外 405nm 测温仪，可以直接测量 wafer 或薄膜表面温度，不受翘曲和其他因素的影响，从而满足更高要求的 MOCVD 工艺监测需要

温场扫描系统

温场扫描系统Scanpyro，用于具有狭缝型观察窗的MOCVD腔体上，扫描整个石墨盘及上面晶圆的温场分布。

石墨盘发射率测量仪

EM-940石墨盘发射率测量仪用于测量石墨盘的表面发射率，为精确测量石墨盘温度提供依据