InP/GaAs/LT/玻璃缺陷检测

InP/GaAs/LT/玻璃缺陷检测系统

适用于 InP、GaAs、LT、LN、玻璃、蓝宝石等多种晶圆的缺陷检测。系统集成 DIC 明场、激光散射暗场检测，并结合 AI 自动缺陷识别与分类算法，可对 Pit、Bump、Particle、Scratch 等常见缺陷实现快速、精准的识别与分类，最小可检测缺陷尺寸达 60 nm