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集成电路系列 化合物及LED系列 光学测温系列
MOCVD原位监测系列 红外测温AK-Pyro系列
VT940B/VT1550B
VT940B/VT1550B
多通道光纤测温仪
用于半导体设备的光纤测温仪，可用于SiC外延，硅外延，MOCVD顶盖测温等
  • 多用途，低成本，可配置1-4通道
  • 多种波长可选，0.9um, 1.55um, 1.8um, 2.4um
  • 不同波长可混合搭配，一台设备实现多波长测温


LT1550
LT1550
光管高温计
蓝宝石光管传感器探头，可深入到工艺反应腔内部，精确测量石墨盘温度，适合于MOCVD和其他半导体设备用于温度控制的测温应用
  • 光管传感器通过光纤连接高温计模块
  • 测量精度高，重复性±0.1ºC
  • 测温范围宽，100-1800ºC
  • 接口丰富，网口，串口，模拟量，方便使用


LRT920
LRT920
发射率测量仪
蓝宝石光棒探头，光纤连接，用于RTP快速退火设备，硅晶圆发射率实时测量
  • 探头通过光纤连接测量机箱
  • 探头可根据设备需要定制
  • 接口丰富，使用方便


T3300/T5200
T3300/T5200
中红外测温仪
3.3um以及5.2um的红外测温仪，适用于半导体，玻璃，太阳能等工业加工行业。尤其是对于用灯加热的半导体外延工艺设备，由于避开了加热灯的光谱，避免了杂散光的干扰，因此能够比较准确的测量工艺中外延片的温度，从而用于精确的温度控制
  • 测温精度高，重复性±0.1ºC
  • 测量速度快，最快4ms
  • 接口丰富，以太网口，串口和模拟量接口
  • 可配置报警功能


AK-mPyro
AK-mPyro
小体积红外测温仪
小体积，多种波长可选, 多用途测温，可用于外延设备，快速退火设备，MBE设备，离子注入设备等
  • 体积小，可用于狭小空间，安装多个探头的应用
  • 高精度，重复性±0.1ºC
  • 接口丰富，可定制EtherCAT接口，直接接入设备的控制网络


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